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Cu薄膜的瞬态反射率及退火处理的影响.pdf
r I第33卷2 一V01.33第№ . [ L 一期2— ■●■●■■ JOURNAL OFJIANG5LUNl、‘ERSil’Y’INaturalsclcncc Edmon) doi:10.3969/j.issn.1671—7775.2012.02.017 Cu薄膜的瞬态反射率及退火处理的影响 任乃飞,王荣校,顾佳方,陈秋月 (江苏大学机械工程学院,江苏镇江212013) 摘要:为了研究激光辐照金属薄膜后的超快热化动力学过程,利用磁控溅射技术在玻璃衬底上制 备了Cu薄膜样品,同时取部分样品进行不同温度的退火处理.运用飞秒激光泵浦一探测技术观测 了薄膜表面的反射率变化,研究了薄膜退火处理对反射率的影响.结果表明:飞秒激光作用下,Cu 薄膜的瞬态反射率曲线分为稳定、快速上升、衰减和恢复4个阶段;退火处理对反射率曲线的峰值 和衰减阶段的时间有影响,退火温度越高,反射率变化的峰值越小,衰减阶段所用的时间越长,即电 子的冷却速率越慢;基于双温模型预测的电子温度与试验结果大致吻合,但是预测的电子冷却时间 比试验要长. 关键词:Cu薄膜;瞬态反射率;泵浦一探测;飞秒激光;双温模型 文献标志码:A 中图分类号:0484;TN247 Transient ofCufilmsandinfluenceof reflectivity annealing Ren Naifei,WangRongxiao,GuJiafang,ChenQiuyue Mechanical of (School Engineering,JiangsuUniversity,Zhenjiang,Ji∞轳u212013,China) orderto uhrafastthermalizationof laserirradiated Abstract:Instudy dynamicsshort·pulsed metal,Cu atdif- filmswere on substrates some wereannealed slags magnetron deposited by sputtering,andsamples ferent transient offilmswagdetectedfemtoseeondlaser temperatures.Therefleetivity by pump—probe, on thetran· andtheinfluenceof transient Wagalsodiscussed.Theresultsshowthat annealing refleetivity sient curveofCufilmscanbedividedintofour
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