VO2FTO复合热致变色薄膜的制备及其光学特性.pdfVIP

第33卷第2期 红外与毫米波学报 V01．33．No．2 2014年4月 J．InfraredMillim．Waves April，2014 文章编号：1001—9014(2014)02—0143—06 V02／FTO复合热致变色薄膜的制备及其光学特性 王 锋1， 李 毅1’2， 丁 杰1， 佟国香1， 覃 源1， 严 梦1， 梁 倩1， 方宝英1， 王晓华1…， 陈少娟1， 陈建坤1， 郑鸿柱1， 袁文瑞1 (1．上海理工大学，上海200093；2．上海市现代光学系统重点实验室，上海200093； 3．上海电力学院，上海200090) 摘要：在掺氟的SnO：(FrO)导电玻璃衬底上采用直流磁控溅射的方法室温沉积纯钒金属薄膜，再在退火炉中经后 退火工艺制备VO，／FIO复合热致变色薄膜，并对复合薄膜的结构及其光学特性进行研究．结果表明，导电玻璃上 的FTO并没有改变VO：择优取向生长，但明显改变了VO：薄膜的表面形貌特征．与相同工艺条件下在玻璃衬底上 qC，相变前后的红外透 制备的VO：薄膜相比，VO：／FFO复合薄膜的相变温度降低约18℃，热滞回线温宽收窄约4 过率分别约为42％和21％．说明复合薄膜既可明显降低相变温度和热滞宽度，又可增强VO：薄膜的红外调控 能力． 关键词：VO，；FTO；复合薄膜；热致变色；光学特性 中图分类号：0484 文献标识码：A and of Preparationopticalproperties V02／FTO films composite wANG Yil一，DINGJiel，TONG Yuanl， Fen91，LI Guo—Xian91，QIN YAN FANG WANG Men91。LIANGQianl， Bao—Yin91， Xiao．Hual’’， CHEN CHEN ZHENG YUANWen-Ruil Shao．Juanl， Jian．Kunl， Hong—Zhul， of forScienceand (1．UniversityShanghai Technology，Shanghai200093，China； ofModern 200093，China； 2．ShanghaiKeyLaboratory OpticalSystem，Shanghai ofElectric University 200090．China) 3．Shanghai Power．Shanghai metalthinfilmswerefabricatedontheF conductive DC Abstract：The