类金刚石膜的制备 性能及应用.pdfVIP

48 工 具技 术 、 1, 2 1 1 江苏大学 2 镇江高等专科学校 :介绍了类金刚石膜的结构、制备方法和发展现状, 综述了DLC膜的机械、电子、光学和生物学性能以及 在这些领域中的应用状况。 :类金刚石膜, 制备, 性能, 应用 Pr operty, Prepar ation and Application of Diamond- lik e Carbon Film Zhang Jing Fan Zh n Abstr act : Th structur s of diamond2lik carbon (DLC) films, th d position m thods and d v lopm nt actuality of th films ar introduc d. Th prop rti s and applications of DLC in th fi lds of machin ry, l ctronics, optics and m dicin ar r vi w d. Keywor ds: diamond2lik carbon film(DLC) , pr paration, prop rty, application 2 一种非晶亚稳态结构, 它的化学键主要是 sp 和 1 3[3] sp 。由于类金刚石碳材料的性能与金刚石材料 类金刚石膜(DLC) 是一种与金刚石膜性能相似 比较相似, 因而称其为类金刚石碳。一般认为sp3 的新型薄膜材料, 它具有较高的硬度, 良好的热传导 键含量越高, 膜层越坚硬致密, 电阻率越高, 宏观性 率, 极低的摩擦系数, 优异的电绝缘性能, 高的化学 质上更接近金刚石。根据薄膜结构是否含氢可分 [1] 为: 氢化非晶碳膜( a- C: H film, 一般包括 50% 的 稳定性及红外透光性能 。自Asi nb rg 和 Chaboty 在1979 年用离子束沉积法( Ion b am d position) 制得 氢) 、无氢非晶碳膜(a- C film) 、四面体非氢碳膜(ta [2] - C film) 。一般来说前一类金刚石膜由化学气相沉 第一片DLC 薄膜以来 , 人们对类金刚石膜的特 性、制备方法及其应用领域进行了广泛和深入的研 积( CVD) 制得, 而后两类则通过物理气相沉积 究, 类金刚石膜产品已被广泛应用到机械、电子、光 (PVD) 制得。 学和医学等各个领域。 3 2 近年来,DLC 膜的制备工艺发展迅速, 已经开发 碳在自然界中以两种晶体单质形式存在: 四面 出多种制备方法。这些方法大体分为两大类: 物理 3