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2015-09-28 发布于重庆
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用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法.pdf

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用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法

计量学 2 第26卷第2期报 V01．26，No AcTA 2005 2005年4月 MErrROLOGICASINICA April 用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法柳忠尧1，闫聚群1，张蕊1，林德教1，殷纯永1，叶孝佑2，许婕2 (1．清华大学精密仪器与机械学系，精密测量技术与仪器国家重点实验室，北京100084； 2．中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位，以获得最佳的测量光斑；同时，利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性，进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则，有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量，测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果，以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好；还 mn。对同一刻线进行了5次重复性测量，其极限偏差为20 关键词：计量学；偏振干涉；边缘探测；线宽；共光路设计；共焦显微术中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000．1158(2005)02．0115．05 A forMeasurementofLineWidth Polarization System byCombining I withConfocal nterferometry Microscopy HU Ruil，LIN Jie2 Zhong-ya01，YANJu—qunl，ZHANGDe—jia01，YINChun—yon91，YEXiao—you2，XU ofPrecisionMeasurement (1．State Technology＆Instrumentation，Tsinghua100084，China； KeyLaboratory University，Beijing 2．NationalInstituteof Metrology，Beijing100013，China) Abstract：Anovel for the andlinewidthofmask is combines measuring proposed，which system stepheight plates with fromaTransverseZeemanLaser