热光源谱域光学相干层析成像系统.pdfVIP

No．11 第45卷第11期 西安交通大学学报 V01．45 OFXI7AN Nov．2011 2011年11月 JOURNAL JIAOTONGUNIVERSITY 执 ，It、光源谱域光学相干层析成像系统 秦玉伟1’2，赵宏1，庄仲琴1 (1．西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，710049，西安； 2．渭南师范学院物理与电子工程系，714000，陕西渭南) 摘要：根据热光源具有极短的相干长度、能够提高系统的轴向分辨率的特点，设计了一种使用热光 源的谱域光学相干层析成像系统．利用高斯函数计算得到的理想光谱密度与光谱仪测量的实际光 谱密度之间的比值，得出了不同波长对应的光源光谱密度的校正系数，将校正系数与所测干涉光谱 值相乘，得到了校正后的理想干涉光谱值．实验结果表明：高斯校正后，样品的一维散射势得到锐 化，散射势峰值变大，系统的轴向分辨率变高；高斯校正后使二维层析图像的质量得到了提高，样品 的薄膜边界变得清晰．因此，系统具有分辨率高、成像速度快、测量精度高和对样品无损伤的特点， 在薄膜厚度的无损测量方面有着广泛的应用前景． 关键词：光学相干层析成像；热光源；高斯校正；散射势 Coherence with Spectral—Domainoptical TomographySystem The咖al Source Light Yuwei1”，ZHA0 1，ZHUANG1 QIN Hong Zhongqin (1．State for KeyLabo强toryManufacturingsyst锄sEngineeritlg，)【i’anJiaotoTlgUrIiversity，)【i’aIl710049，CKnaI of andElectrorIic 2．DepartmentPhysics Abst髓屺t：A resolution coherence withathem尬l high optical tomography spectral—domain system sourcewas the introduced．Theratioof ideal calculatedwithGaussianfunc— light spectraldensity tiontotheactual measured wasusedtoobtainthe spectraldensity byspectrometer calibrationco— efficientofdifferent Theidealinterferenceaftercalibrationwasobtained wavelength spectrum once th