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HfO2／SiO2高反射膜的缺陷及其激光损伤.pdf
第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! # ’!( ’# $% )% 年 月 *++! , ’(*++! -./- 01234 56734 6)8 0649.:53 ;367 7= ???????????????????????????????????????????????????????????????? 文章编号@!++!AB**C*++!D+#A+#*,A+B H 高反射膜的缺陷及其激光损伤K * * EFG IJG 胡建平 陈 梅 付雄鹰 柴 林 ( ( ( 成都精密光学工程研究中心 四川 成都 C ( L!++B!D 摘 要 用原子力 和扫描电子显微镜等分析仪器 对高损伤阈值薄膜常采用的 @ M ( H * )%NOPQRS -T1 薄膜进行了表面显微图象研究 分析了薄膜常见的表面缺陷 如 节瘤 孔洞和划痕等 薄膜表面缺 * ( ( ( U 7S1 陷的激光损伤实验表明 不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同 节瘤缺陷最低 约为 * 薄膜的损 ( ( ( !#H ( VWO 伤阈值主要由其决定 孔洞的激光损伤能力与节瘤相比较高 约为节瘤的 倍 节瘤缺陷在低能量密 ( ( *X U 度的激光损伤所形成的孔洞 与镀制过程中形成的孔洞形貌相似 激光再损伤能力也相似 低能量密度 ( ( U 的激光把节瘤缺陷变为孔洞缺陷是激光预处理提高薄膜损伤阈值的原因之一U 关键词 高反射薄膜 表面缺陷 激光损伤 @ H Y Y * * -T1 7S1 中图分类号@ *B 文献标识码@ 9) 6 薄膜的缺陷与薄膜的抗激光损伤能力密切相关 是降低薄膜激光损伤阈值的主要原因 薄膜在镀制过 ( ( 程 中所造成的缺陷主要有应力缺陷 结晶状态 单晶 多晶等 微结
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