CVD金刚石膜剥离后基底渗铬层的表面形态.pdfVIP

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2015-09-04 发布于湖北
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CVD金刚石膜剥离后基底渗铬层的表面形态.pdf

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Shhi (k U VWWQV!X YZ[\Z]^_‘abcde‘ZfZag jZ !#金刚石膜剥离后基底渗铬层的表面形态 $ $ 黄元盛邱万奇罗承萍黄彩娥 % % % 韶关学院机电系广东韶关华南理工大学机电系广东广州 ’$( % )$**)+( % )$*,-*. 摘要研究了金刚石剥离后基底渗铬层的表面形态以及金刚石的背面形貌结果发现以渗铬层为基底在 / 012 3 % 之间进行金刚石薄膜沉积后渗铬层的铬碳化合物层和铬扩散层的厚度都增加了白亮层的铬浓度比 ,**4 5**6 012 % + 沉积前低渗铬层硬度梯度因铬的扩散而变得比金刚石沉积前更平缓 + 3 关键词金刚石渗铬层化学气相沉积 / + + 中图分类号/ $9-( 文献标识码/ 文章编号/$**$;=$-’**-.*=;***,;* 78 : ?@ABCDEF@GHFIFJKFA!H@FLMNMOJPBKD@QARD@ !# #MBLFOSTMIL #DIBLMOBRDS $ $ ; % ; % ; % ; UVWXYZ[\]^_‘]a bcVd\]ef gVh i_‘]ajf]a UVWXYi\f‘ ’$( ; % % %)$**) + klmnopqlrpstulvwnrslxlvposryvz {wns|}nr~ry!lozyp {wns|}nr #wyrn ( ; % % )$*,-*% . klmnopqlrpstulvwnrslxlvposryvz {s}pw#wyrn~ry!lozypst$lvwrsxs| %}nr|ws} #wyrn / % Q’(R@BCR )*+,-./01+2314156-7809.+1:;+*.;*+/1,.3+1099754-6/+ -780189-0178=-.:98/?/+/ ( ,**6 :;*89/8-,;/+89-0178,940 ?-:8/4-097-;/8 73/+/:*4;::31? ;3-;-,;/+8/21:9;917 1,89-0178=/;?//7 -78 5**6 % ; + ;3/;39.1,.3+109*0 .-+=17.1021*78:4-6/+:-78.3+1099754-6/+:97.+/