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2015-09-04 发布于重庆
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现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现.pdf

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现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现.pdf

电子测量与仪器学报 2008年增q：lJ 现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现丁雪成1 冯震宇2 吴丽颖2单允章2 (1．西南交通大学电气工程学院，成都610031：2．北京北仪创新真空技术有限责任公司，北京102600) 摘要：真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备。论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成。结合镀膜工艺流程，对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计。同时介绍了PLC的选型，最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代真空镀膜机控制系统。该电气控制系统具有手动／自动控制、故障报警等功能。系统经过了实验室和现场的两步调试，解决了潜在问题。最终生产实践证实了该系统的可行性，实现了工艺要求，满足了客户需求。关键词：PLC；真空镀膜机；电气控制中图分类号：TP273；TB43文献标志码：B and ofModernVacuum MachineElectricControl DesignImplementation Coating System Wu Shan DingXuecheng‘FcngZhcnyuzLiyingz Yunzhan92 ofElectric (1．School JiaotongUniversity，Chengdu61003l,China； Engineering，Southwest InnovationVacuum 2．BeijingBeiyi TechnologyCO．，LTD．Beijing102600，China) Abstract：Thevacuum machineisakindof whichcoatsfilmonthesurfaceofthe inthevacuum coating equipment object trendand machineisintroduced．Combinedwithfilm condition．The overallconstitutionofvacuum development coating coating demonstrationand tothestructureoftheelectriccontrol Software technologicalprocess,a analyzingcorrespondingdesign system andhardw锄．ehavebeendiscussed．Atthesametime．theselectionofthePLCisintroduced．ItisrealizedthatONIRONPLCisthe centerofcontrol ofmodemvacuum machine．Theelectriccontrol hasthefunctionof system coating system analarm whenthe of SOOil．Some havebeenSOlved and isout control，giving protection system control，and potentialproblems by lab andfield ofthe isconfirmed it啪rea