电子陶瓷化学镀及应用.pdfVIP

电 子 工 艺 技 术 第 $)卷第 期 $ 年 月 *+,-./012-:H/0-,::C,-510+06; $## 电 子 陶 瓷 化 学 镀 及 应 用 任呈强，谢发勤 （西北工业大学 ，陕西 西安 !##!$） 摘 要 ：电子 陶瓷拥有优 良的电学 、热学和机械性能，是 电子工业 中使用广泛 的高技术材料 。 采用化学镀方法在 电子 陶瓷表面可获得多种功能性镀层，满足电子工业的需要。综述 了电子 陶瓷 化学镀工艺以及化学镀层的功能性。 关键词：电子 陶瓷 ；化学镀；电子工业；功能性镀层 中图分类号： ’文献标识码： 文章编号： （ ） !%#$$##()!)$###(##$(#) !#$%’()$*#+,)$!#$%’#--.+%)(/+(0122)$+%)’( ， 3!4*5#(/(6)+(/78!9+(6)( （ ， ， ） 4’%5:#-%#(.’;%#$5()$+()=#-)%;7)+(!##!$*5)(+ ： ， ， 1?-%+$%*+,-./012--,/342-35265(.,-543.,/23+377+2,821,+,-./012-2189:./;53:,-,++,1.,+,-./01= ， 2-.5,/43+3184,-5312-3+7/07,/.2,:?.-310@.321431;A91-.2013+-03.216:@;4,31:0A,+,-./0+,::7+3.216.0 4,,.B2.5.5,1,,80A,+,-./012-2189:./;C5,,+,-./0+,::7+3.2167/0-,::318.5,A91-.201:0A.5,-03.216:01 ,+,-./012--,/342-3/,79.A0/B3/8 ： ； ； ； @#;:’0-*+,-./012--,/342-*+,-./0+,::7+3.216*+,-./012-2189:./;D91-.2013+-03.216 ： ： （ ） A’$B,#(%*’0#$1%)$#8A##()!)$###(##$(#) 为 了实现 陶瓷与其它电子元器件 的连结或功能 改性或功能性 。近年来 ，许多学者对 陶瓷化学镀展 性 ，需要对陶瓷表面进行金属化改性。陶瓷金属化 开了深入 的研 究，取得了很大 的进展。 是在一定规格的陶瓷片或陶瓷微粒的表面上沉积金 电子 陶瓷化学镀工艺 属的过程 ，得到金属薄层 ，从而实现 需要 的功能性 。 工艺流程 目前 ，陶瓷表面金属化技术 很多，如 化学气相沉积 目前最为成熟并广泛应用于工业生产的电子 陶 （ ）、物理气相沉积（ ）、离子注入 、激光表面 瓷化学镀工艺流程是 ： EFGHFG 改性、离子萃取等 ，其 中化学镀 以其适应基体广 、均 除油!流水洗!中和!流水洗!粗化!流水洗 镀和深镀能力好 、生产方便 ，改变镀层成分和含量可 !敏化!蒸馏水洗!活