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用于监控电镀槽液的CVS技术.pdf

电子 工 业 专 用 设 备 专题报道 Eguipment for Electronic Products Manufacturing 用于监控 电镀槽液的 CVS 技术 1 1 2 林振庭 ,P eter Bratin , 王福清 ! # $ 1.ECI Technology Inc. , New Jersey, U.S.A. 2.王氏港建中国有限公司 上海200333 ! 摘 要 介绍 应用技术 是目前半导体以及电路板业界最受广泛采用 监控电镀液中有 : CVS CVS ! 机添加剂的技术 CVS 精确分析所得的结果 可以用来作为离线或在线添加有机添加剂的依据 ! ! 以保障槽液的品质 本文详细讨论CVS 技术的电化学原理 并提供应用实例以作进一步解说 关键词 电镀 电化学 有机添加剂 抑制剂 光亮剂 : 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! To 153 A 1004-4507 (2007)02-0014-04 Monitor Plating Bath by CVS (Cyclic Voltammetric Stripping) 1 1 2 LIN Zhen-ting , Peter Bratin , WANG Fu-ging ( 1. WKK, China; 2.ECI Technology Inc., New Jersey, U .S.A .) Abstract : This article will detailed introduce the fundamentals of Cyclic Voltammetric Stripping (CVS), and meanwhile gives some examples to explain its applications. CVS is a patented technigue by ECI company, currently is widely used in semiconductor and PCB industry, to monitor the concen- tration of organic additives and their breakdown products in plating bath. Based on the guantitative

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