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溶胶凝胶制备二氧化硅薄膜的开裂问题研究.pdf
文章编号： （ ） 1000 - 2871 2000 03 - 0014 - 06 溶胶 凝胶制备二氧化硅薄膜的开裂问题研究! - !! 方平安 ，吴召平 （中国科学院上海硅酸盐研究所，上海 200050 ） 摘要：为制备微晶玻璃增强用二氧化硅薄膜，采用溶胶 凝胶工艺（ ）在 - SOL - GEL 普通钠钙硅玻璃基片上做了预试，对过程中薄膜的开裂问题进行了详细的分析和 研究。结果表明：溶胶的组成与凝胶干燥和热处理过程中的应力不均是开裂的主 要原因。借助差热分析（ ）、红外吸收光谱分析（ ）、高倍光学显微镜等分析 DTA IR 测试手段，通过调整原料配比、控制干燥过程的相对湿度和调节热处理过程中的升 温速率，较好地解决了膜面开裂问题，获得了表面均匀不开裂的二氧化硅薄膜。 关键词：二氧化硅薄膜；溶胶- 凝胶；开裂 中图分类号： + 文献标识码： T@171 . 73 9 A Study on the cracking of Silica f ilms prepared by Sol - Gel process ， FANG PMn !an WU zhaO !Mn g P g （ ， ， ， ） Shan hai Institute of Ceramics Chinese Academ of Science Shan hai 200050 China g y g ： ， ， Abstract The silica films which are used to stren then lass - ceramics were refabrica - g g p ted by sol -gel process on the silicate substrates. The reason for the cracking of films is dis- cussed and anal Zed in detail. The result shows that the crackin of the el films is mainl y g g y related to the com osition of sol and the unbalanced stress roduced durin dr in and hea - p p g y g ， ， tin rocess. The silica fil
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