多晶硅铸锭炉加热室的设计.pdfVIP

维普资讯 专题报道 · 电 字 工 业 营 用 设 置 ■ · 多晶硅铸锭炉加热室的设计 陈国红 1,3，王晓军 ，姚文军 。，苏文生 。 (1、国防科学技术大学研究生院，湖南长沙 410073；2、湖南证兴设备安装工程有限公司， 湖南株洲 412003：3、中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙 410111) 摘 要：加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调 整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。 关键词：多晶硅铸锭炉；加热室；石墨加热器 ；隔热层 中图分类号：TF063 文献标识码 ：A 文章编号：1004—4507(2007)07—0036—04 DesignabouttheHeatingChamberofP0lycrystallineSilicon IngotProductionFurnace CHENGuo—hong。～，WANGXiao-jun2，YAOWen-jun3，SUWen—sheng3 (1、GraduateCollegeofNationalDefenceandTechnologyUniversityChangsha410073，Hunan 2、HunanZhengxinequipmentinstallationengineeringco；Ltd．Zhuzhou412003，Hunan 3、The48thResearchInstituteofChinaElectronicTechnoloyg GroupCompany，Changsha410111，Hunan) Abstract：Heatingchamberispivotalpartofthepolycrystallinesiliconingotproductionfurnace．Tech— niqueprocessofgrowthofthepolycrystallinesiliconisbasedontheadjustmentoftheheatingchamber． Thispapermainlyintroducethestructuredesignabouttheheatingchamberofthepolycrystallinesili— coningotproductionufmace． Keywords：Polycrystallinesilicon ingotproductionufmace；Heatingchamber：GraphiteheatersTher— ma1insulation 多晶硅铸锭炉是用于铸造大型多晶硅锭 的设 多晶硅铸锭炉的工作原理：将多晶硅料装入有 备，它是将硅料高温熔融后通过定向冷却冷凝结 涂层的坩埚 内后放在定向凝 固块上，关闭炉膛后抽 晶，使其形成晶向一致的硅锭 ，从而达到太阳能电 真空，加热待硅料完全熔化后，隔热笼缓慢往上提 池生产对硅片品质的要求。太阳能电池生产完整的 升，通过定向凝固块将硅料结晶时释放的热量辐射 产业链如图 l所示 。从图中可 以看 出，多晶硅铸锭 到下炉腔内壁上，使硅料中形成一个竖直温度梯 是整个光伏产业链中的基础工序。 度 。这个温度梯度使坩埚 内的硅液从底部开始凝 收稿 日期 ：2007．05．25 作者简介：陈国红 (1972．)，男，湖南宁乡人，国防科学技术大学硕士研究生，高级工程师，主要从事热工设备的研制。