有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
MILC超薄沟道多晶硅薄膜晶体管.pdf
第 期 电 子 学 报 8 VoI .29 No . 8 年 月 2001 8 ACTA ELECTRONICA SINICA August 2001 MILC 超薄沟道多晶硅薄膜晶体管 金仲和，王跃林 （浙江大学信息与电子工程学系，浙江杭州市玉泉 310027 ） 摘 要： 金属诱导横向结晶技术制备的多晶硅薄膜具有晶粒尺寸大且不随薄膜厚度而减小的特点，本文根据这 一特点提出利用超薄沟道结构提高薄膜晶体管性能 采用超薄结构后，成功地将金属诱导结晶薄膜晶体管的漏电降到 . - 13 以下；开关比提高了近 倍达到 7 以上；场效应迁移率从普通结构晶体管的 2 （ ）与 10 A/ m 100 3 X 10 80cm / Vs NMOS ! 2 （ ）分别提高到 2 与 2 ；阈值及亚阈摆幅也有很大改善 文中还将金属诱导结晶与传统固 51cm / Vs PMOS 110cm / Vs 68cm / Vs . 相结晶所得薄膜晶体管的性能进行了比较，并对这些结果进行了讨论. 关键词： 金属诱导结晶；多晶硅；薄膜晶体管 中图分类号： + 文献标识码： 文章编号： （ ） TN325 .2 A 0372-2112 2001 08-1068-04 MILC Thin Film Transistor with Ultra-Thin Channel ， JIN Zhong-he WANG Yue-Iin （ ， ， ， ， ） Dept . of Inf ormation Electronic Engineering Zhej iang Uniuersity Hangzhou Zhej iang 310027 China Abstract ： Thin fiIm transistors with different channeI thickness were fabricated with metaI induced IateraI crystaIIization （ ） （ ） MILC and conventionaI soIid-phase crystaIIization SPC . The performance of MILC devices is much better than that of SPC de-
文档评论（0）