有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
高性能对称解耦结构的线振动陀螺.pdf
第 17 卷第 5 期 中国惯性技术学报 Vol.17 No.5 2009 年 10 月 Journal of Chinese Inertial Technology Oct. 2009 文章编号：1005-6734(2009)05-0577-05 高性能对称解耦结构的线振动陀螺 何 胜 ，王 巍 （北京时代光电有限公司，北京 100854 ） 摘要：为了最大限度克服微机电陀螺的两个模态的相互耦合作用，提高微机电陀螺的综合性能指标，采用国内 现有 MEMS 标准工艺方法，设计和制作了一种高性能单晶硅对称解耦结构的线振动陀螺。采用对称结构形式和 保证陀螺驱动和检测模态振型都是弯曲振动模式，易于模态匹配；由于采用驱动模态和检测模态结构解耦方式， 从微结构设计上大大降低了正交耦合误差影响，使陀螺具有输出零位小、零偏稳定性好的优点。测试结果表明： 初次加工的样机，在大气中驱动和检测模态固有频率分别在 2430 Hz 和 2580 Hz 左右，在 150 Hz 带宽内具有 0.1~0.5 ° ° ( )/s 的分辨率；随着加工精度的提高和检测电路的改进，该陀螺在大气中15 Hz带宽内实现 0.008( )/s 的分辨率，在真空状态下，这种高性能单晶硅对称解耦结构的线振动陀螺性能会有进一步的提高。 关 键 词：标准工艺；对称结构；解耦线振动陀螺；模态频率匹配 中图分类号：U666.1 文献标志码：A High performance single-crystal silicon symmetrical and decoupled vibrating gyroscope HE Sheng, WANG Wei (Beijing Aerospace Times Optical-electronic Technology Co.,Ltd, Beijing 100854, China) Abstract: In order to decrease the orthogonal coupling error between the drive and sense vibration modes and improve the performance of the MEMS Gyro, according to the existing MEMS standard process in China, a single-crystal silicon symmetrical and decoupled (SYMDEC) gyroscope is designed and fabricated. The symmetric structure ensures the drive and sense vibration modes to be bending vibration mode and easily matched between them. Since the drive and sense modes adopt the decoupled structure, the orthogonal coupling error is significantly decreased from the design, and hence th
文档评论（0）