《精密与特种加工》试题.docVIP

大连理工大学研究生试卷 系 别：机械工程学院 课程名称：精密与特种加工技术 学 号：姓 名： 王鑫林 考试时间：13年1月15日 《精密与加工技术》试题 一、必答题 1、目前精密和超精密加工的精度范围分别为多少？ 答：（1）精密加工的加工精度为1~0.1μm,加工表面粗糙度在0.1μm 以下（一般为0.02~0.1μm）;超精密加工的加工精度为0.1~0.01μm，加工表面粗糙度小于0.01μm（0.01~0.001μm）。 2、超精密切削对刀具有什么要求？ 答：为实现超精密切削，刀具应具有如下性能：（1）切削刃要磨的极其锋利，刃口的圆弧半径要极小才能实现超薄切削厚度，减小切削表面弹性恢复和表面变质层。（2）切削刃的粗糙度。切削时切削刃的粗糙度将决定加工表面的粗糙度，因此刀具切削刃要有极低的粗糙度，例如金刚石刀具刀刃的粗糙度为0.1~0.2μm特殊情况下为1nm。（3）极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量，以保证刀具有很长的寿命和尺寸耐用度。（4）切削刃要无缺陷，切削时刃形将复印在加工表面上，这样就能得到超光滑的镜面。（5）和工件材料的抗粘结性好、化学亲和性小、摩擦因数低，能得到极好的加工表面完整性。 3、超精密磨削主要用于加工哪些材料？为什么超精密磨削一般多采用金刚石砂轮？ 答：（1）利用细粒度的磨粒和微粉形成的砂轮等磨具对黑色金属、玻璃与陶瓷等硬脆材料进行磨削加工、研磨加工等。软质铜、铝等有色金属一般用金刚石刀具进行超精密切削。 （2）超精密磨削是一种极薄切削，切屑厚度极小，磨削深度可能小于晶粒的大小，磨削就在晶粒内进行，因此磨削力一定要超过晶体内部非常大的原子、分子结合力，从而磨粒上所承受的剪切应力就急速地增加，可能接近磨粒的剪切强度极限。磨粒切削刃处受到高温和高压作用要求磨粒有很高的强度和高温硬度。普通磨料，在高温高压和高剪切应力的作用下，磨粒将会很磨损或崩裂，以随机方式不断形成新切削刃，虽然使连续磨损成为可能，但得不到高精度低表面粗糙度的磨削质量。因此，在超精密磨削时，一般采用人造金刚石、立方氮化硼等超硬磨料砂轮。 固结磨料加工与游离磨料加工相比有什么特点？ 答：1.固结磨料加工：将磨粒或微粉与结合剂粘合在一起，形成一定的形状并具有一定强度，再采用烧结、粘接、涂敷等方法形成砂轮、砂条、油石、砂带等磨具。用这些磨具所进行的加工称为固结磨料加工。一般使用于硬、脆材料的精密与超精密加工。固结磨料研磨方法优点如下： （1）可用来加工各种高硬度、高脆性金属材料和非金属材料，如玻璃、陶瓷、半导体材料、宝石、石材、硬质合金、铜铝等有色金属及合金等（2）磨削能力强、耐磨性好、耐用度高，易于控制加工尺寸及实现加工自动化。（3)磨削力小，磨削温度低，加工表面质量好，无烧伤、裂纹和组织变化。（4）磨削效率高，有锋利的刃口，耐磨性高，因此有较高切除率和磨削比（5）加工成本柢，加工效率高，工时少，综合成本低。 2.游离磨料加工：在加工时，磨粒或微粉不是固结在一起，而是成游离状态，其传统加工方法是研磨和抛光。可用于各种材料的超精密加工。游离磨料研磨的特点如下： （1）磨料散置于磨盘上，磨盘转速不能太高，以避免磨料飞溅，浪费磨料，因此加工效率低。（2）磨料与从工件上磨下的碎屑混在一起，磨料不能充分发挥切削作用，而且为提高加工效率要经常将磨料与这些碎屑一起洗掉，这既浪费了能源、又浪费了磨料。（3)磨料在磨盘上是随机分布的，分布密度不均，造成对工件研磨切削量不均，工件面形精度不易控制；特别是磨料与工件间的相对运动具有随机性，这也增加了工件面形精度的不确定因素，降低了加工精度的稳定性。（4）在研磨加工过程中，磨料相互间既有作用力又有相对运动，这造成了磨料之间产生切削作用，即磨料磨磨粒，加重了磨料和能源的浪费。（5）在研磨过程中，大尺寸的磨料承受较大的压力，而小尺寸的磨料所受到的压力小，甚至不受压力，这使得大颗粒磨料切削深度大，产生的划痕深，影响表面质量，因此为提高工件表面质量，游离磨料研磨对磨料的尺寸均匀性要求较高。（6）在研磨加工中要严格控制冷却液的流量，以愕然冲走磨料，这使得冷却效果变差，容易引起工件升温，造成加工精度下降。（7）在研磨过程中，磨盘产生的磨损影响加工工件的面形精度，这就要求经常修整磨盘，而修整磨盘则要求三个磨盘相对研，既费事麻烦，又对人的操作技术水平要求高。（8）为避免粗研中所用的大颗粒磨料被带到下道精研中，影响精研加工质量，要求各研磨工序间要对工件进行严格清洗。（9）污染环境。（10）工人劳动强度大，对工人技术水平要求高（11）较硬的磨料容易嵌入较软的工件表面肉内，影响工件的使用性能。 简述慢刀伺服和快刀伺服车削CMP过程是化学过程与机械过程协同作用的过程[4]。 （2）CMP的特点：