NiTi形状记忆合金薄膜相结构.pdfVIP

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2017-08-09 发布于安徽
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NiTi形状记忆合金薄膜相结构.pdf

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第38卷增刊 V61．38 金属学玫 Suppl． ACTA SINICA 224—225页 METALLURGICA 2002年9月 Sept．2002PP．224-225 NiTi形状记忆合金薄膜的相结构木柳美荣郭锦芳王小平 (有研亿金新材料股份有限公司，北京100088)qE京有色金属研究总院超导中心，北京100088) 摘要采用直流磁控溅射法制备了NiTi形状记忆合金薄膜，采用一步法对NiTi薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应，研究了成分和晶化热处理对NiTi薄膜相结构的影响．结果表明，等原子比膜和富钛膜经相同晶化热处理后，相结构明显不同，前者相结构主要为B2相，后者则为B2+A彳相；且等原子比膜经过不同温度的晶化热处理后，随着温度的升高，M相和第二相也相应增多．关键词形状记忆合金，磁控溅射法， NiTi薄膜，晶化热处理 A 中图法分类号TGl46．23，TGl39。6文献标识码文章编号 PHASESTRUCTURESoFNiTiSHAPEMEMoRY ALLoYTHINFILMS LIU Meirong．GUOJin／ang Materials 100088 GrikinAdvanced CO．Ltd—Beijing WANG Xiaoping Institutefor GeneralResearch Nonferrous 100088 Metals．Beijing Correspondent：LIUMeirong，engineerl E-mail：liumr76@)sina．corn．cn received2002-03-25 Manuscript ABSTRACTNiTi films DC weretreated memoryalloy by shape preparedmagnetronsputtering with methodto effect．Theinfluenceof and one—step getshapememory composition treatmenton structureoffilmswasstudied．Itwasfoundthatafterthesameheattreatment． phase structureofNiTifilmswith orTi isB2andtheTirichfilmis fNi 50％1 phase equiatomiccomposition B2andM of structureofNiTifilmswith showed phases．Theanalysisphase equiatomiccomposition thatwiththetreatment andthesecond alSOincreased．