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VoL 第26卷第lO期 实验室研究与探索 26No.10 2007年10月 RESEARCHANDEXPLORATIONINLABORATORY Oct.2007 纳米压痕试验测量不确定度评定 王 滨, 王春亮, 杨 力, 沙 菲 (上海材料研究所,上海200437) 摘 要:影响纳米压痕试验结果的因素很多,导致分别计算A类和B类不确定度十分困难。该文采取 实验室间比对的方法,通过对熔融石英样品进行纳米压痕试验,得出压痕硬度和压痕模量的重复性限r 和复现性限R。.在r和R的基础上推导出纳米压痕硬度和模量扩展不确定度的近似计算公式,从而大 大简化了纳米压痕试验测量不确定度的评定。不确定度评定结果表明纳米压痕试验测量不确定度较 大;试验次数超过5次后,其对扩展不确定度的影响不大。 关键词j重复性限;复现性限;纳米压痕;不确定度评定 中图分类号:0213.2文献标识码:A 文章编号:1006—7167(2007)10—0167—04 Evaluationof inNanoindentation Uncertainty Testing WANG WANG YANG SHAFei Bin, Chun—liang, Li, ResearchInstituteof 200437,China) (Shanghai Materials,Shanghai difficultin Aand Bof dueto factorsact— Abstract:Itis tocalculate type uncertaintyrespectivelymany experience type onthetestresultsofnanoindentation.TheRoundRobinTestofintedaboratoriesonthenanoindentationtestoffused ing indentation silicon were and the the hardness limit(r)and limit(R)of samplesadoptedrepeatability reproducibility andtheindentationmoduluswereobtainedinthis the formulaof ofnano paper.Thenapproximateexpandeduncertainty indentationhardnessandthemoduluswerederived.Theformula evaluationof innanoin· largelysimplifies uncertainty of in still dentationmeasurement.theresultwhichindicates nanoindentationmea
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