MOCVD技术柔性衬底上生长绒面ZnO-TCO薄膜和其薄膜太阳电池应用研究.pdfVIP

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2017-08-14 发布于安徽
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MOCVD技术柔性衬底上生长绒面ZnO-TCO薄膜和其薄膜太阳电池应用研究.pdf

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第二部分硅基薄膜太阳电池 ·503· MOCVD技术柔性衬底上生长绒面ZnO-TCO薄膜及其薄膜太阳电池应用研究林泉陈新亮。倪牮张德坤孙建赵颖耿新华 (南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300071) 摘要柔性硅基薄膜太阳电池研究逐渐成为硅基薄膜太阳电池研究热点。在国际上，研究人员普遍采用 nip的电池结构，而pin柔性太阳电池的研究较少，并且pin柔性薄膜电池的研究重点是绒面结构TCO薄膜的研究。本文利用LP．MOCVD技术在PET柔性衬底上低温生长绒面结构ZnO-TCO薄膜，详细研究了薄膜 H6作为掺杂剂。优化获得的掺杂流量对Zn0薄膜微观结构以及光电性能影响。DEZn和H20作为源材料，B ZnO薄膜厚度～1500nnl时，绒面结构PEr／ZnO薄膜的方块电阻～10～2012，可见光及近红外范围平均透过率～75％～80％，初步应用于扩sI薄膜电池转换效率达～6．3％(电池结构：PEF／ZnO-TCO／pirra-Si／AD。关键词MOCVD技术；柔性衬底；ZnO薄膜；薄膜太阳电池 SurfaceTexturedZnO-TCOFilmsGrownonFlexibleSubstrateVia Thin—filmSolar MOCVD andTheir in Cells Technique Applications Ni Lin Chen Jian Dekun Quan Xinliang。 Zhang SunJianZhao Xinhua YingGeng AbstractFlexiblesiliconthin．filmsolarceilshavebecomeRD key have used solar·cellstructure，butthe structureis less the generallynip-type pin relativelyinvestigated，and flexiblesolarcellsresearchisfocusontexturedTCofilms．WeuseLP-MoCVDto tex— pin techniquegrow turedZnO-TCothinfilmsonPErrsubstramsatlow effectsofthe onthemicro- temperature．TheB-doping structure。electricaland oftheZnOthinfilmsareinvestivated．ThetexturedZnO-TCO optical properties thinfilmsareusedina-Sithinfilm cellsandan of6．3％isobtained(solarcellstructure： solar efficiency PET／Zno．TCO／pin-a．Si／AI)．