工业化生产光伏玻璃减反膜地研究.pdfVIP

第十三届全国固体薄膜学术会议（NCTSF2012 ，山东烟台，2012 年 8 月） 工业化生产光伏玻璃减反膜的研究  靳瑞敏 1,2 2 2 2 2 2 2 蔡志端 苍利民 阎 韬 徐建军 栗书增 韩香菊 1.南阳理工学院 太阳能电池研究所; 南阳 473004 2. 安彩高科股份有限公司 博士后工作站 安阳 455000 摘 要：本文介绍了通过离线工艺连续生产光伏玻璃减反膜，主要包括镀膜的配置和减反膜的生产。正 硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源，乙醇为溶剂，NH ·H 0 和 HCl 为催化剂，采用溶胶-凝胶技术制备镀膜 3 2 液，然后在光伏压延玻璃上镀膜并对其进行热处理，分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结 构、物性进行研究，并介绍必威体育精装版的太阳电池减反膜工业化生产情况。 关键词：工业化 太阳电池减反射 The research on commercial process of AR thin film. Abstract ：The paper is about introduction for off-line manufacturing the AR thin film on Photovoltaic glass. Based on TEOS system and sol-gel process, using solvent alcohol together with catalysts, the microstructure of SiO2 particles in the sol was exactly controlled. Silica coatings were prepared on glass and annealed. The films were characterized by ellipsometer and scanning electronic microscope respectively, the recent condition of pruduction is introduced. Key words ：commercial process AR thin film 1 引言 太阳能电池作为一种清洁能源正越来越受到人们的重视。太阳能电池分为单晶硅、多晶硅和薄膜 太阳能电池等。目前，主流的太阳能电池是晶硅电池，没有封装成组件的单片太阳电池因为易碎不具 备实用性，太阳能电池组件是由太阳电池装玻璃挡板作为保护层组合而成，太阳能电池转换效率的损 失原因之一在于表面玻璃挡板对入射太阳光存在１０％左右的反射损失，因此减少表面阳光反射是提 高太阳能电池转换效率的有效途径之一。采用溶胶-凝胶法(Sol—gel法)制备光学薄膜是一种新兴的镀膜 工艺,用溶胶-凝胶法制备的折射率可调SiO 增透薄膜具有高损伤阈值和优良的光学特性，多孔Si0 薄膜 2 2 具有密度低、折射率可调、介电常数低、热稳定性高等特性，可应用于光学镀膜、传感器、过滤器以 及集成电路和超声探测器等领域[1] 。多孔Si0 薄膜因具有强的透光率和高的热阻而成为理想的太阳能器 2 件的首选材料[2] 。由于应用前景广阔，孔径分布介于5-50nm的多孔Si0 薄膜的制备及性能表征的研究已 2 成为材料界研究得热点之一[3-10] 。溶胶凝胶法以其独特的优势成为薄膜制备中的热点。醇盐水解过程可 通过改变反应物组成PH值、催化剂、温度、湿度以及凝胶时间等反应参数来控制，本文通过调节催化 剂，研究对SiO2溶胶折射率和薄膜表面结构的影响，并介绍必威体育精装版的工业化生产状况。 2 实验方法 以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源，同一