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Au_In等温凝固焊接失效模式研究.pdf

第 卷第 期 功能材料与器件学报 CD- , 3C- 年 月 ’%% . /012345 06 6137890345 :48;2945 43= =;97; :?@AB, ’%% 文章编号 * + ! %% $ ]’V’ ’%% % $ %%aV $ %V 4RW 9J 等温凝固焊接失效模式研究 王铁兵 施建中 谢晓明 , , * 中国科学院上海冶金研究所 上海 + , ’%%%V% 摘要 研究了 等温凝固芯片焊接的失效模式 对每种失效模式的失效原因进行了讨论 并提 ! 4R W 9J , , 出了相应的解决途径。结果表明 镀铟层过厚 会使焊层中产生 相和大量空洞 导致焊层出现 ! , 3G 9J , # ] 早期失效 焊接过程中芯片与衬底平行度不好 会使加载压力在焊区分布不均 并导致焊区局部区 ( , , 域发生 不浸润 焊接温度过高 则焊层内会出现较大的热应力 可导致芯片或焊层开裂 在 4RW 9J ( , , ( C 高温下 由于过渡层 与 相的反应 焊区内出现大量空洞 导致焊层剪切强度下降。 .%% 7 , 3G 4R W 9J , , 对 体系在未来高温电子器件芯片焊接中的应用 尚需寻找合适的过渡层材料。 4R W 9J , 关键词 芯片焊接 等温凝固 金铟体系 失效模式 ! ( ( ( 中图分类号! 83.%V- #] 文献标识码! 4 !#$% ’ ’()*#+, -$,. ’+ $), /0$)01 /% 2#3 40 ).5,+-(* .*)$)’)6()0

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