半導體業環境管理系統案例.docVIP

經濟部工業局環境管理輔導人員訓練教材 半導體業環境管理系統案例 中 華 民 國 八 十 九 年 八 月工廠基本資料 工廠資料 工廠名稱 穩賺電子股份有限公司 設廠日期 82年12月 資本額 50億元 年總營業額 95億元 廠區面積 20,000/平方公尺 廠房面積 8,000/平方公尺 員工人數 1,500人 生產時數 24小時/每天3班 主要產品 產品種類 年產量 DRAM、SRAM、視訊記憶體(VRAM)、ROM、EPROM 30,000片/月 主要原（物）料 本廠除晶圓材料、製造作業所需之無塵衣具及包裝材料之外，所使用的製程用化學品，主要有NH4OH、H2O2、H2SO4、HCl、HNO3、HF、NH4F、IPA、TMAH、NMP、DMSO、PGMEA、MEK、CH3COOH、H3PO4等。 製程 本廠擁有一座潔淨度Class 1的6吋晶圓製造工廠，製程技術為0.5μm，其整體製造流程，如圖一所示。 能（資）源使用 用 水 水源 自來水 地下水 取水量(CMD) 3,000 670 用途 純水系統 生活用水 其他用水 總用水量 用水量(CMD) 2,500 120 1,050 3,670 用 電 用途 製程用電 空調用電 輔助動力設備 測試設備 總用電量 用電量(度/月) 4,500 9,900 2,700 900 18,000 註：地下水取得業經縣市政府水利課核准，核准取水量為800 CMD。 圖一、穩賺公司製造流程 廠區使用說明 1.本廠位於科學工業園區。 2.本廠平面配置，如圖二所示。 3.設廠至今均生產半導體晶片。 圖二、穩賺公司廠區平面圖 廠區外部說明 工廠周界區域，如圖三所示。 圖三、穩賺公司廠區周界圖 2.本廠四周均為工廠，唯工廠北側隔一30公尺道路，有一小公園。 3.廠區規劃雨污水分流系統；雨水經雨水溝收集後，直接排放園區雨水下水道；製程廢水經處理後，納管至園區管理局污水下水道。 現有環境管理說明 本廠組織架構，如圖四所示： 圖四、穩賺公司組織架構圖 環保工作由廠務部下轄之安全衛生室負責，編制6人；具有甲級廢(污)水處理及空氣污染防制專責人員各一人。廠務部負責廠內污染防治設備的操作與維護。 已設有工業減廢推動組織，如圖五所示。 圖五、穩賺公司工業減廢組織圖 每位新進人員需接受5小時以上的工安與環保訓練課程，灌輸「環保與生命一樣重要」的觀念；不定期邀請外部講師，進行廠內人員環保訓練，平均每年約200人次、400小時；每年派遣員工參加外部訓練，約100人次。 其他相關環境管理系統 於84年通過ISO 9001驗證；84年榮獲全國推行勞工安全衛生優良機構獎；85年榮獲經濟部節約能源獎 環保現況 1.廢水方面 廢水污染源，如圖六所示： 圖六、廢水污染源 廢水分流狀況，如圖七所示： 圖七、廢水分流狀況 廢水處理流程，如圖8所示： 圖八、廢水處理流程 廢水防治設備及操作流程 項　　目 已投資成本 (仟元) 年操作成本 (仟元) 最大處理量 實際處理量 廢 水 處 理 設 施 氫氟酸 43,000 3,000 15m3/日 15m3/日 一般廢酸 3,000m3/日 1,000m3/日 異丙醇 8m3/月 委外處理 有機溶劑 8m3/月 委外處理 硫酸回收系統 48,600 3,500 1,440公升/日 600公升/日 污泥脫水機 9,000 240 4公噸/日 2公噸/週 廢氣方面 廢氣污染源，如圖九所示： 圖九、廢氣污染源 廢氣處理流程，如圖十所示： 圖十、廢氣處理流程 廢氣防治設備及操作流程 項　　目 已投資成本 (仟元) 年操作成本 (仟元) 最大處理量 實際處理量 廢 氣 處 理 設 施 有機溶劑廢氣 430,000 1,600 42,000m3/小時 25,200 m3/小時 酸廢氣 144,000m3/小時 144,000m3/小時 鹼廢氣 3,600m3/小時 1,800m3/小時 廢棄物方面 廢棄物處理流程，如圖十一所示： . 圖十一、廢棄物處理流程 廢棄物防治設備及操作流程 項　　目 已投資成本 (仟元) 年操作成本 (仟元) 最大處理量 實際處理量 一般廢棄物 700 委外處理 本廠未曾因違反環保法規，而遭環保單位告發。 . 1 . .