集成微光机电系统中的矢量光学问题3.pdfVIP

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2017-09-12 发布于重庆
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集成微光机电系统中的矢量光学问题3.pdf

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集成微光机电系统中的矢量光学问题3 李志远杨国桢顾本源中国科学院物理研究所北京摘要集成微光机电系统是近年来迅速地发展起来的一门新兴的综合学科它融合了微光学元件微 ∞ ! 电子器件和微机械结构的优点不但在技术上有重要的应用还蕴涵着与小尺寸器件有关的力学热学电学光学以 ! ! ! 及材料科学等丰富的基础科学研究课题文章探讨了系统中典型的微光学元件如衍射微透镜折射微透镜 ∞ ! 和微光栅中的矢量光学问题简要地介绍了相应的求解方法关键词集成微光机电系统微光学元件光的矢量衍射理论 ςΕΧΤΟΡΙΑΛΔΙΦΦΡΑΧΤΙΟΝΟΦΛΙΓΗΤΙΝ ΜΙΧΡΟ−ΟΠΤΟ− ΕΛΕΧΤΡΟ− ΜΕΧΗΑΝΙΧΑΛΣΨΣΤΕΜΣ 2≠∏ ≠∏2 2≠∏ (Ινστιτυτεο Πη σιχσ,Χηινεσε Αχαδεμ ο Σχιενχεσ,Βειιν ) φ ψ ψ φ ϕ γ Αβστραχτ ∞ √∞ ∏∏ √× √∏ √∞∏× √ ∏√ √ Κε ωορδσ ∞√ ψ 大小约为 ≅ 中间一层为微小的铰链和轭 Λ Λ 等机械元件两边各安一个电极施加适当的电压集成微光机电系统后可使镜子朝和两个方向偏转入射的 β β 近年来集成微光机电系统受到空光线将被反射到不同的方向上接收屏幕上出现明 ∞