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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 % ! ##% ! , , , H)8 *% N) * ! 0=B=@5=6 ##% ( ) !###R-1#E##%E% ! E%$’!R#’ 7(C7 MSTJP(7 JPNP(7 !##% (Q * MQUA * J)B * ! 基磁性隧道结势垒结构的电子全息研究! ) ) ) )) ! ! ! ! 张 朱 涛 冯玉清 张 泽 !)(中国科学院物理研究所,北京 !###$# ) )(北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京 !### ) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) ##% !% ##% ’ $ 利用高分辨电子显微术和电子全息方法研究了 基磁性隧道结退火热处理前后的微观结构及相应势垒层结 () 构的变化* 研究结果表明,退火处理可以明显地改善势垒层和顶电极、底电极之间的界面质量,改进势垒层本身的 结构 这与该磁性隧道结经过 退火处理后,隧道磁电阻值大大增加是一致的 * $# + * 关键词:磁性隧道结,隧道磁电阻,高分辨电子显微学,电子全息 : , , , #$!! ,-#. ,-#/ ’!!’0 # [, ] 下降1 ! * 显然,磁性隧道结的CD/ 性能与退火温 !3 引 言 度相关,从而与相应的显微结构变化也密切相关* 因此,磁性隧道结显微结构随退火温度变化的研究, [] 电子全息术是 .45)6 ! 在 !1$ 年提出的,它最 就成为深入了解此类自旋相关材料和器件物理性能 初的应用是克服球差对电子显微镜极限分辨率的影 与显微结构间关系的重要课题 由于电子全息术可 * 响 随着电子显微方法的不断发展,电子全息术由 以用来分析材料内部平均内电势的变化,已经成为 * [ , ] 于它所具有的独特优势而受到重视 通常人们通过 分析磁

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