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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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! 基磁性隧道结势垒结构的电子全息研究!
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张 朱 涛 冯玉清 张 泽
!)(中国科学院物理研究所,北京 !###$# )
)(北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京 !### )
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
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利用高分辨电子显微术和电子全息方法研究了 基磁性隧道结退火热处理前后的微观结构及相应势垒层结
()
构的变化* 研究结果表明,退火处理可以明显地改善势垒层和顶电极、底电极之间的界面质量,改进势垒层本身的
结构 这与该磁性隧道结经过 退火处理后,隧道磁电阻值大大增加是一致的
* $# + *
关键词:磁性隧道结,隧道磁电阻,高分辨电子显微学,电子全息
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[, ]
下降1 ! * 显然,磁性隧道结的CD/ 性能与退火温
!3 引 言 度相关,从而与相应的显微结构变化也密切相关*
因此,磁性隧道结显微结构随退火温度变化的研究,
[]
电子全息术是 .45)6 ! 在 !1$ 年提出的,它最 就成为深入了解此类自旋相关材料和器件物理性能
初的应用是克服球差对电子显微镜极限分辨率的影 与显微结构间关系的重要课题 由于电子全息术可
*
响 随着电子显微方法的不断发展,电子全息术由 以用来分析材料内部平均内电势的变化,已经成为
*
[ , ]
于它所具有的独特优势而受到重视 通常人们通过 分析磁
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