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光 电 子 ·激 光 第 10 卷 第 4 期 1999 年 8 月
JOU RN AL O F O P TO EL ECTRON IC S ·LA SER V o l. 10 N o. 4 A u g. 1999
等效深中心研究新方法—瞬态光霍耳和光电阻率谱
王海龙 封松林
(半导体超晶格国家重点实验室, 中国科学院半导体研究所, 北京 100083)
摘要 考虑到深中心俘获与发射载流子对 自由载流子浓度的影响而对深中心俘获过程进行了推导与讨
论, 发展了以瞬态光霍耳谱测量和瞬态光电阻率谱测量为基础的两套新的深能级分析测试手段, 并证明
了其等效性。用此方法测量样品不需做结, 且对大浓度的深中心也可不做任何修正, 尤其适用于缺陷对
载流子俘获机制的研究, 因而弥补了深能级瞬态谱技术的不足。
关键词 瞬态光霍耳谱(T PH S) ; 瞬态光电阻率谱(T PR SS) ; 俘获势垒
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Equ iva len t New Ana ly sis M ethods of D eep L evel the Tran sien t Photo Ha ll
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Spectro scopy an d the Tran sien t Photo re sist iv ity Spectro scopy
W an g H a ilon g F en g Son g lin
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N at ion a l L abo rato ry fo r Sup er lat t ice s an d M icro st ru ctu re s In st itu te o f Sem icon du cto r s Ch in e se A cade
, 100083, )
m y o f scien ce s B eij ing Ch in a
Abstract Tw o equ iva len t n ew an a ly sis m ethod s o f deep leve l th e t ran sien t p ho to H a ll sp ect ro scop y an d
th e t ran sien t p ho to re sist iv ity sp ect ro scop y b a sed on th e p ho to H a ll an
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