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第一节 压电传感器的工作原理 压电式传感器是一种自发电式传感器。它以某些电介质的压电效应为基础,在外力作用下,在电介质表面产生电荷,从而实现非电量电测的目的。 压电式传感器主要用途:压电传感元件是力敏感元件,它可以测量最终能变换为力的非电物理量,例如动态力、动态压力、振动加速度等,但不能用于静态参数(例如重量)的测量。 压电式传感器是一种典型的有源传感器 ; 压电效应具有可逆性,也是一种典型的“双向传感器”; 压电式传感器的特点: 工作频带宽,灵敏度高,结构简单,体积小,重量轻,工作可靠。 压电效应最贴近生活的应用: 燃气灶与打火机 一、压电效应 天然结构的石英晶体呈六角形晶柱,用金刚石刀具切割出一片正方形薄片。当晶体薄片受到压力时,晶格产生变形,表面产生正电荷,电荷Q与所施加的力F成正比 ,这种现象称为:“压电效应” 。 还有一些人造的材料也具有压电效应。 若在电介质的极化方向上施加交变电压,它就会产生机械变形。当去掉外加电场时,电介质的变形随之消失,这种现象称为逆压电效应(电致伸缩效应)。 清代诗人苏履吉赞颂鸣沙的“雷送余音声袅袅,风生细响语喁喁”。 石英晶体的压电效应演示 当力的方向改变时,电荷的极性随之改变,输出电压的频率与动态力的频率相同;当动态力变为静态力时,电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 二、压电材料的分类及特性 压电传感器中的压电元件材料一般有三类: 一类是压电晶体(如上述的石英晶体); 另一类是经过极化处理的压电陶瓷;第三类是高分子压电材料。 (一)石英晶体 天然形成的石英晶体外形(续) 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体振荡器(晶振) 石英晶体在振荡电路中工作时,压电效应与逆压电效应交替作用,从而产生稳定的振荡输出频率。 石英晶体的特性与其内部分子结构有关。下图是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子,在垂直于z轴的xy平面上的投影,等效为一个正六边形排列。 定性分析: 当石英晶体未受外力作用时,正、负离子正好分布在正六边形的顶角上,形成三个互成120°夹角的电偶极矩,且三个电偶极矩的矢量和为0。 由上述公式我们看到: 电荷qx的符号表示受压力还是受拉力 切片上产生的电荷多少与切片的尺寸无关,即qx与Fx成正比 晶片电荷极性与受力关系 极间电压 若在同一切片上,沿机械轴y方向施加作用力Fy,则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy,其大小为 qy=d12(L/a)Fy 式中, d12---y轴方向受力的压电系数,根据石英晶体的对称性,有d12=-d11; qy---垂直于x轴平面上的电荷 Fy---沿y轴方向施加的作用力 L、a-晶体切片的长度、厚度 由上述公式我们看到: 沿机械轴y方向作用力在晶体表面产生的电荷与晶体切片的尺寸有关; 沿y轴作用力所产生的电荷极性与沿x轴作用力所产生的电荷极性是相反的。 当石英晶体沿z轴方向作用力时,由于晶体沿x轴方向和y轴方向产生同样的变形,因此沿z轴方向施加作用力时,石英晶体不会产生压电效应,即d13=0 (二)压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料,它比石英晶体的压电灵敏度高得多,而制造成本却较低,因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷 。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷(PZT)及非铅系压电陶瓷 (如BaTiO3等)。 压电陶瓷外形 无铅压电陶瓷及其换能器外形 (上海硅酸盐研究所研制) (三)高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯(PVF2或PVDF)、聚氟乙烯(PVF)、改性聚氯乙烯(PVC)等。 高分子压电材料是一种柔软的压电材料,可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。 不易破碎,具有防水性,可以大量连续拉制,制成较大面积或较长的尺度; 价格便宜,频率响应范围较宽,测量动态范围可达80dB。 高分子压电薄膜及拉制 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 高分子压电薄膜制作的压电喇叭(逆压电效应) 压电材料的特性: (1)压电系数:是衡量材料压电效应强弱的参数,与压电输出灵敏度有关。 (2)弹性常数:压电材料的弹性常数、刚度决定着压电元件的固有频率和动态特性。 (3)介电常数:对于一定形状、尺寸的压电元件,其固有电容与介电常数有关;而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 (4)机械耦合系数:在压电效应中,转换输出能量
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