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学兔兔
第44卷第11期 机 械 工 程 学 报 vol-44No.11
2008年 11月 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERNI G Nov. 2008
DoI:lO.3901,JME.2008.11.121
无阀压电微流体泵工作特性与结构参数木
鲁立君 吴健康2
(1.华中科技大学土木工程与力学学院 武汉 430074;
2.武汉光电国家实验室 武汉 430074)
摘要:根据平面无阀压电微流体泵的结构特点,采用厚度平均的浅水模型和有限元法,得到微流体泵液体一振动片耦合方程。
耦合方程的模态分析给出硅片一阶模态 自然频率和振型,以及硅片振幅一频率关系。在模态分析之后,加入压电力考察振动
片响应、微泵流动特征和微泵流量。同时研究微泵结构参数(微泵压电片半径、扩散管长度、最小宽度、扩散张角)对微流体
泵液一固耦合系统的自然频率、振动片振幅和微泵流量的影响,得出对微流体泵优化设计有重要意义的结果。
关键词:压电微流体泵 浅水方程模型 液体一振动片耦合方程
中图分类号:TG156
W orkingBehaviorandStructureParameterofValveless
PiezoelectricM icropumps
LULijun WUJiankang
(1.SchoolofCivilEngineering&Mechanics,HuazhongUniversityofScienceandTechnology,Wuhan430074;
2.WuhanNationalLaboratoryforOptoelectronics,Wuhan430074)
Abstract:Basedonthecharacteristicofplanra valvelesspiezoelectricmicropumpsthickness-averagedshallow watermodeland
finiteelementmehtodraeemployedtodevelop aliquid·di~hragm coupledequation ofthemicropump.Themodeanalysisof
coupledequation iscarriedoutforhtefirst-ordernaturalfrequency,vibrationshapeandtheamplitude·frequencyrelationofhte
silicondiaphram.Aftermodeanalysis,piezoelectricforceisimposedtoinvestigatediaphragm response,flow behaviorandflow rate
ofmicropump.Theeffectsofhtestructurepraameters(thelength,hteminimumwidthandthediffusenagleofthemicro-diffuser,
nadtheradiusofpiezoelectricpatch)onthenaturalrfequencyofliquid-solidcoupledsystem,thediaphramg ampliutdeandtheflow
rateofhtemi cropumpsraestudied.Significnatresultsareobtainedofroptimaldesing ofthemicropmu ps.
Keywords:Piezoelectricmicropumps Shallow waterequationmodel Liquid—diaphragm coupledequation
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