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离子敏传感器.ppt

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    离子敏传感器;离子敏传感器;离子选择电极;离子选择电极的分类;;;;;;;;;;离子选择电极分析方法的特点;1、MISFET型传感器和MOSFET型传感器

    在半导体基片上先使其形成绝缘层，接着在形成金属膜，此结构为MIS结构。若绝缘层采用氧化物则称为金属-氧化物-半导体结构即MOS结构。

    此结构的MISFET(或MOSFET)原理结构如下图所示

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