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无尘室节约能源技术手册
2025
一、前言
一、前言
目录
一、前言 1
二、无尘室简介 2
无尘室的工作原理 2
无尘室洁净等级标准 2
无尘室污染物来源 4
无尘室之分类 5
三、无尘室验证测试 6
四、无尘室的能源消耗 8
五、无尘室节能措施 10
无尘室的设计面节能措施 10
无尘室的运转面节能措施 11
六、无尘室节能范例 13
七、结语 14
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一、f前言
为了不使产品在制造过程中受到如灰尘或微生物等污染物的影响,进而造成产品良率下降,因此某些制程必须在一个无尘的环境下才能进行,于是有了无尘
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