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研究报告
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“十五五”重点项目-集成电路设备项目节能评估报告(节能专)
一、项目概况
1.项目背景及意义
(1)随着全球科技水平的飞速发展,集成电路作为信息时代的关键核心技术,其产业规模和影响力日益扩大。集成电路设备作为集成电路产业的核心支撑,其技术水平直接关系到国家集成电路产业的竞争力。在我国,集成电路设备产业虽然取得了一定进展,但与发达国家相比,仍存在较大差距,尤其是在高端设备领域。因此,发展集成电路设备产业,特别是重点项目——集成电路设备项目,对于提升我国集成电路产业整体水平,保障国家信息安全具有重要意义。
(2)本项目的实施旨在推动我国集成电路设备
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