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集成电路核心设备研发生产项目节能评估报告
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概述 3
二、节能评估背景 5
三、项目目标与任务 6
四、节能评估范围与方法 8
五、集成电路行业现状分析 9
六、节能技术发展趋势 11
七、项目用能现状分析 13
八、设备能效标准与指标 14
九、能源消耗分析 16
十、节能潜力分析 18
十一、节能技术方案 19
十二、设备选型与节能考虑 21
十三、能源管理体系建设 23
十四、节能措施实施计划 25
十五、节能效果评估方法 27
十六、节能实施过
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