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高温薄膜表面改性技术优化.pdf

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    高温薄膜表面改性技术优化

    目录

    1,内容概览2

    1.1薄膜技术的发展与应用4

    1.2高温薄膜表面改性技术的概述6

    2,高温薄膜表面改性的方法7

    2.1气相沉积法10

    2.1.1热蒸发法12

    2.1.2化学气相沉积14

    2.1.3溅射镀膜法16

    2.2液相沉积法17

    2.2.1溅射沉积法24

    2.2.2涂布法26

    2.3物理气相沉积法29

    2.3.1

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