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ICS

CCS

团体标准

T/CEMIA×××－××××

集成电路扩散设备用石英外管

(Quartzoutertubesforintegratedcircuitdiffusionequipment)

（征求意见稿）

本稿完成日期：2024年7月20日

20××-××-××发布20××-××-××实施

中国电子材料行业协会发布

T/CEMIA×××－××××

目  次

前  言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4分类和标记2

5技术要求4

6试验方法7

7检验规则8

8铭牌、标志、包装、运输及贮存9

2

T/CEMIA×××－××××

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国电子材料行业协会提出并归口。

本文件主要起草单位：浙江富乐德石英科技有限公司

本文件主要起草人：

3

T/CEMIA×××－××××

集成电路扩散设备用石英外管

1范围

本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、

检验规则以及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于集成电路制造工艺用12英寸及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1184形状和位置公差未注公差值

GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法

JC/T597半导体用透明石英玻璃管

JC/T2205石英玻璃术语

3术语和定义

JC/T2205界定的术语和定义以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1卷边

经过火抛光后，产品特征边缘产生的凸起。

4分类和标记

4.1分类

按照集成电路制造工艺中对扩散设备用石英外管材料杂质元素含量的要求分为标准级石英外管(S

级)和高纯级石英外管(H级)。

4.2标记

按产品的分类、名称、产品图号、生产批号和标准编号的顺序标记。