磁控溅射时长对复合羟基磷灰石涂层性能的影响.pdfVIP

2024年第53卷第4期热加工工艺ISSN1001-3814

Vol.53No.42024HotWorkingTechnologyCN61-1133/TG

之

引用格式：张明权，吴兵，唐正强，等.磁控溅射时长对复合羟基磷灰石涂层性能的影响[J].热加工,2024,53(4):22-26.

DOl:10.14158/ki.1001-3814

riggy@

http:/riggy@

磁控溅射时长对复涂层性能的影响

张明权，吴兵，唐正强，李屹

日550025)

（贵州大学机械工程学院，贵州贵阳

摘要：采用射频磁控溅射技术在Ti-6Al-4V基体沉积复合羟基磷灰石(HA,Caio(PO4)(OH)2)涂层，研究掺杂Ti

和TiN在不同HA溅射时长下对HA复合涂层微观结构、摩擦学性能、钙磷比（Ca/P)及电化学的影响。结果表明：复合

HA涂层随着HA溅射时长增加，涂层表面的半球形颗粒状结晶体更明显，对细胞附着生长及生物相容性有重要影响；

复合涂层主要由HA相、Ti相和TiN相组成，溅射时间越长的复合HA涂层物相更接近标准值，且涂层Ca/P随着溅射

时间的增加逐渐接近标准值；摩擦系数随溅射时长的增加逐渐趋于稳定，涂层的摩擦磨损情况随溅射时间增加而逐渐

减小；溅射时长最长的涂层获得了最低的腐蚀电流密度和最大的腐蚀电位。

关键词：羟基磷灰石；射频磁控溅射；钙磷比；摩擦磨损；电化学

中图分类号：TG174.4文献标识码：A文章编号：1001-3814(2024)04-0022-05

EffectofMagnetronSputteringDurationonPropertiesofComposite

Coating

Hydroxyapatite(

ZHANGMingquan,WUBing,TANGZhengqiang,LIYi

(SchoolofMechanicalEngineering,GuizhouUniversity,Guiyang550025,China)

Abstract:Thecompositehydroxyapatite(HA,Caio(PO4):(OH))coatingwasdepositedonTi-6Al-4VsubstratebyRF

magnetronsputtering.Theeffectsofsputteringdurationonthemicrostructure,frictioncoefficient,calciumphosphorusratio

andelectrochemistrypropertiesofthecompositeHAcoatingwerestudied.Theresultsshowtha