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2025年设备监理师半导体与电子行业洁净室设备验收专题试卷及解析1

2025年设备监理师半导体与电子行业洁净室设备验收专题

试卷及解析

2025年设备监理师半导体与电子行业洁净室设备验收专题试卷及解析

第一部分：单项选择题（共10题，每题2分）

1、半导体洁净室设备验收中，空气洁净度等级的检测应优先采用哪种方法？

A、沉降菌法

B、粒子计数法

C、浮游菌法

D、滤膜法

【答案】B

【解析】正确答案是B。粒子计数法是国际标准ISO14644中规定的洁净度等级检

测首选方法，能直接测量空气中悬浮粒子的浓度和粒径分布。A选项沉降菌法主要用于

微生物监测，C选项浮游菌法针对活菌计数，D选项滤膜法多用于液体或气体采样，均

不适用于洁净度等级的直接检测。知识点：洁净室验收标准与方法。易错点：容易混淆

不同检测方法的适用场景。

2、洁净室HEPA过滤器的安装密封性检测应采用哪种方法？

A、目视检查

B、压力衰减法

C、DOP/PAO检漏法

D、风速测试法

【答案】C

【解析】正确答案是C。DOP/PAO检漏法是国际通用的HEPA过滤器安装密封性

检测标准方法，通过气溶胶挑战试验可准确发现泄漏点。A选项目视检查只能发现明显

缺陷，B选项压力衰减法适用于容器密封性检测，D选项风速测试法仅能评估过滤效率

而非密封性。知识点：空气净化系统验收。易错点：可能误认为简单的目视或风速测试

即可替代专业检漏。

3、半导体洁净室设备验收中，振动测试的主要目的是什么？

A、评估设备运行噪音

B、检测设备基础稳定性

C、确保精密设备正常运行

D、验证设备能耗水平

【答案】C

【解析】正确答案是C。半导体制造设备对振动极为敏感，振动测试旨在确保环境

振动不会影响光刻机等精密设备的加工精度。A选项噪音测试是独立项目，B选项基础

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稳定性只是振动测试的一个方面，D选项能耗与振动无直接关联。知识点：洁净室环境

参数控制。易错点：容易忽视振动对半导体工艺的特殊影响。

4、洁净室压差监测的验收标准通常要求多少帕斯卡？

A、15Pa

B、515Pa

C、1530Pa

D、3050Pa

【答案】B

【解析】正确答案是B。根据ISO14644和GB50073标准，洁净室与相邻区域的

压差应保持在515Pa之间，既能防止污染侵入，又避免门难以开启。A选项压差过小

无法有效隔离，C、D选项压差过大会影响人员通行和系统平衡。知识点：洁净室压差

控制。易错点：容易混淆不同级别洁净室的压差要求。

5、半导体洁净室设备验收中，ESD防护系统的电阻值范围应为？

A、10ˆ9Ω

【答案】C

【解析】正确答案是C。ANSI/ESDS20.20标准规定，ESD防护工作表面的电阻值

应控制在106109Ω范围内，既能有效泄放静电，又不会造成电流过大损伤器件。A选项

电阻过小可能造成短路，B选项适用于防静电腕带，D选项电阻过大无法有效防静电。

知识点：静电防护系统验收。易错点：容易混淆不同防静电材料的电阻要求。

6、洁净室设备验收中，温湿度控制的精度要求通常为？

A、±0.5℃，±5%RH

B、±1℃，±10%RH

C、±2℃，±15%RH

D、±3℃，±20%RH

【答案】A

【解析】正确答案是A。半导体洁净室对温湿度要求极为严格，高级别洁净室通常

需要控制在±0.5℃和±5%RH的精度范围内，以确保工艺稳定性和产品良率。B、C、

D选项精度过低，无法满足半导体制造要求。知识点：洁净室环境参数控制。易错点：

容易低估半导体工艺对温湿度的敏感性。

7、洁净室设备验收中，照度测试的标准高度通常是？

A、地面以上0.5m

B、地面以上0.8m

C、地面以上1.2m

D、工作台面高度

【答案】B

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