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2025《波导谐振环(WRR)国内外研究现状文献综述》4500字.docx

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    波导谐振环(WRR)国内外研究现状文献综述

    1.1国外集成光学陀螺仪波导谐振环研究现状

    国外开展谐振式集成光学陀螺仪的研究更早，在20世纪80年代就已经开始了集成光学波导谐振腔的研究。1983年美国Northrop公司首次提出微光学陀螺仪，并于1990年制备出了第一台微光学陀螺仪样机[19]。其波导谐振环是通过离子交换技术，在玻璃衬底上沉积氧化锌薄膜制备的。

    1989年日本NTT公司在硅片上制备了二氧化硅波导谐振环，其直径约为5cm，微环的清晰度为10，将其与光纤进行对接封装后，搭建了一个闭环光学陀螺仪系统，其系统图如图1.6所示。这个闭环系统在其中一束光路上增加了200米的光纤延迟线以抑制

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