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2025年半导体厂职业健康安全试题库及答案.docx

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    2025年半导体厂职业健康安全试题库及答案

    一、单项选择题（每题2分，共40分）

    1.半导体厂洁净室（Class100）内，对人体健康影响最显著的微环境参数是：

    A.温度（22±2℃）

    B.相对湿度（45±5%）

    C.微粒子浓度（0.5μm≤100个/立方英尺）

    D.二氧化碳浓度（≤1000ppm）

    答案：C

    2.光刻工艺中使用的正性光刻胶主要成分为：

    A.聚酰亚胺+溶剂

    B.酚醛树脂+感光剂+溶剂（PGMEA）

    C.环氧树脂+固化剂

    D.聚四氟乙烯+稀释剂

    答案：B

    3.离子注入机运行时，操作人员应重点监测的辐射类型是：

    A.α射线

    B.β射线

    C.X射线（轫致

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