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《GB/T14146-2021硅外延层载流子浓度的测试电容
-电压法》必威体育精装版解读
一、GB/T14146-2021:半导体材料检测的新航标
(一)标准修订的时代背景与意义
在半导体产业迅猛发展的当下,硅外延层作为核心材料,其载流子浓度的精确测试对半导体器件性能起着决定性作用。旧版标准在面对日益复杂的半导体工艺与高精度需求时,逐渐显露出局限性。GB/T14146-2021的修订应运而生,它如同为半导体材料检测领域注入了新的活力,不仅紧密贴合行业发展趋势,更成为推动半导体产业迈向更高质量发展的关键支撑,确保产品在性能、
稳定性等方面达到国际先进水平
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