FR-WI-05-51 离子溅射镀膜仪作业指导书 A01.docVIP

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深圳XXX新材料股份有限公司

惠州市XXX实业有限公司

惠州市XX实业有限公司

文件编号：FR-WI-05-51

版本号：A/01

文件密级：秘密

文件名称

离子溅射镀膜仪作业指导书

作业指导书

页码：第PAGE1页共NUMPAGES\*Arabic2页

部门会签（请根据文件内容填写涉及到的部门或科）

部门

人力资源部

采购部

工程中心

生产及设备科

签名

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/

部门

计划及储运科

品质部

市场部

安全部

签名

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修改履历

版次

生效日期

修改说明

A/00

2013.3.22

新增加文件

A/01

2025.06.13

文件模板更新

编写

审核

批准

签名

日期

1.目的:

规范离子溅射镀膜仪操作，确保测试数据质量。

2.适用范围:

适用于深圳飞世尔新材料股份有限公司Q150RS离子溅射镀膜仪的使用和维护。

3.职责:

3.1生产及设备科：对仪器做好日常保养，对使用者进行培训，设备出现异常后及时进行处理；

3.2使用者：严格按照文件进行操作并做好记录，在操作时出现异常时及时向生产及设备科进行反馈；

仪器：

4.1.Q150RS如图1所示

图1、Q150RS离子溅射镀膜仪

4.2.配件说明：

金箔：离子溅射法将金箔中金镀于扫描电镜待测样品；

真空泵：抽离镀金机舱内空气，保持真空状态；

操作软件：设置待镀样品的镀层厚度等各种项参数；

氮气：样品舱破真空时气体氛围，纯度≥99.99%。

5.工作程序：

5.1.准备工作：

5.1.1填写使用记录；

5.1.2.开启主机电源；

5.1.3.打开氮气，是气压低于0.2MPa。

5.2.样品制备：

将样品通过导电胶粘贴到样品座上，用吸尘器吸样品表面，直到表面无赃物脱落，部分样品表面可用无水乙醇擦拭。

5.3.设置程序，溅镀：

5.3.1将待镀样品放入舱内样品座；

5.3.2在开机画面中“RunProfile”右侧下拉菜单中选择要操作的镀金机功能选项；

5.3.3.点击“RunProfile”按钮，系统进入抽真空状态，此时稍微按压Chamber上盖5s，系统会自动执行抽真空及溅镀功能；

5.3.4.待Pump停止及Ventchamber后可将样品取出，打开样品舱上盖时手扶舱体；

5.4.完毕工作。

6.注意事项：

6.1.氮气出口气压低于0.15MPa；

6.2.处理样品及放入、取出时需带无尘手套，以免污染样品及样品舱；

6.3.样品舱内壁需定期用无水乙醇进行擦拭清洁。

7.相关文件：

无。

8.记录：

无