FR-WI-05-50 扫描电子显微镜作业指导书 A02.docVIP

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深圳XXX新材料股份有限公司

惠州市XXX实业有限公司

惠州市XX实业有限公司

文件编号：FR-WI-05-50

版本号：A/02

文件密级：秘密

文件名称

扫描电子显微镜作业指导书

作业指导书

页码：第PAGE1页共NUMPAGES\*Arabic2页

部门会签（请根据文件内容填写涉及到的部门或科）

部门

人力资源部

采购部

工程中心

生产及设备科

签名

/

/

部门

计划及储运科

品质部

市场部

安全部

签名

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修改履历

版次

生效日期

修改说明

A/00

2013.3.21

新增加文件

A/01

2019.2.19

文件模板更新

A/02

2025.06.25

文件模版更新

编写

审核

批准

签名

日期

1.目的:

规范操作扫描电子显微镜（SEM），确保测试数据质量。

2.适用范围:

适用于深圳飞世尔新材料股份有限公司NovaNanoSEM450扫描电子显微镜（SEM）使用和维护。

3.职责:

3.1生产及设备科：对仪器做好日常保养，对使用者进行培训及设备出现异常后及时进行处理；

3.2使用者：严格按照文件进行操作并做好记录，在操作时出现异常时及时向生产及设备科进行反馈；

4.仪器：

4.1NovaNanoSEM450扫描电子显微镜（SEM）如图1所示

图1、NovaNanoSEM450扫描电子显微镜

4.2.配件说明：

冷水机：循环水冷却SEM主机温度；

压缩机：压缩空气，以控制阀门；

电源柜：可产生高压30kV，为SEM主机提供所需电压；

涡轮泵：抽取样品舱内气体，保持真空状态；

氮气：样品舱破真空时气体氛围，纯度≥99.99%。

5.工作程序：

5.1.准备工作：

5.1.1.填写使用记录；

5.1.2.开启冷水机：打开墙上电源开关，按动开机按钮；

5.1.3.开启压缩机：打开墙上电源开关，将压缩机的开关由“0”关闭状态旋转至“1”打开状态；

5.1.4.开启SEM电源柜电源：自右至左依次打开（向上），共6个开关。

5.2.连接SEM主机：

5.2.1.按动黄灯，使之变为绿灯；

5.2.2.打开电脑主机；

5.2.3.进入“support”单元；

5.2.4.进入操作系统：双击桌面操作软件“xTmicroscopeServer”；

5.2.5.SEM初始化：点击“Start”，开始初始化，此时各选项指示灯全部变绿后，即完成初始化，自动进入“xT”操作界面；

5.2.6.样品台初始化；

5.2.7开灯丝：若关机前已关闭灯丝，则需重新开灯丝，约40min。开灯完成后等待1h，灯丝稳定。

5.3.样品制作：

将样品通过导电胶粘贴到样品座上，部分样品表面可用无水乙醇擦拭，注意佩戴防静电无尘手套。

5.4.样品检测：

针对样品特性，选择合适的探头、放大倍数拍摄理想图片。

5.5.完毕工作：

5.5.1检测完毕后，取出样品，抽真空，使样品舱保持真空状态；

5.2.2.关闭氮气，其他附件维持原状。

6.注意事项：

6.1.室内常开空调制冷，控制环境温度≤25℃，湿度≤60%；若出现空调故障或雨季湿度太大，及时进行降温除湿处理；

6.2.冷水机水箱内水位有min、max标志线，一般加水至总高度的80%，水温保持20±2℃；水箱内循环水使用纯净水，且更换周期为6个月；

6.3.若室温温差较大，压缩机需排水/油/气，一般一个月排一次；

6.4.压缩机油一年添加一次；

6.5.注意操作安全，以防触电；

6.6.添加样品时，保证表面无赃物脱落，以防污染样品舱。

7.相关文件：

无。

8.记录：

无。