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多晶硅安全生产规范
1范围
本文件界定了采用三氯氢硅还原法生产多品硅的术语和定义，规定了企业从设到生产全过程的
安全技术基本要求，包括设与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。
本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。
采用其他工艺技术生产多晶硅的生产企业可参照执行。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引月而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文
件，仅该H期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本包（括所有的修改单）适
用于本文件。
GBZ/T223工作场所有毒气体检测报警装置设置规范
GB2894安全标志及其使用导则
GB5083生产设备安全卫生设总则
GB7231工业管道的基木识别色、识别符号和安全标识
GB12158防止岸电事故通用导则
GB15577粉尘防爆安全规程
GB16297大气污染物综合排放标准
GB/T38144.1眼面部防护应急喷淋和洗眼设备第I部分：技术要求
GB/T38144.2眼面部防护应急喷淋和洗眼设备第2部分：使用指南
GB50016建筑设防火规范
GB50057建筑物防雷设规范
GB50058爆炸危险环境电力装置设规范
GB50073洁净厂房设娅菊
GB50140建筑灭火器配置设规范
GB50160石油化工企业设防火标准
GB50177氢气站设规范
GB50257爆炸和火灾危险环境电力装置施工及验收规范
GB50316工业金属管道设规范
GB50351储罐区防火堤设规范
GB50370气体灭火系统设规范
GB/T50193石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设标准
GB50650石油化工装置防雷设规范
GB50974消防给水及消火栓系统技术规范
GB51034多晶硅工厂设规范
GB51283精细化工企业工程设防火标准
AQ3013危险化学品从业单位安全标准化通用规范
HG/T21581自控安装图册
SH/T3097石油化工价电接地设规范
AQXXXX—20XX
3大语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
多晶睢polycrystalIinesiIicon
单质硅的一种形态，硅原子以晶格形态排列成许多晶核，这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，晶
粒组合结晶成多晶硅。
3.2
三氯氢硅还原法trichiorosilanehydrogenreductionprocess
在一定温度下的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三敏氢硅，在硅芯上沉积生长多晶硅：同时具备回
收、利用生产过程中伴随产生的氢气、筑化氢、四叙化硅等副产物以及副产热能，最大限度地实现“物
料内部循环、能量保合利用”的％晶及生产工艺.
3.3
还原炉reductionfurnace批注W：本标准第4、5率中并没有使用“多晶硅还原
炉”个术语,而是多次使用了“还原炉”,建议：
一种生产棒状多晶硅的专用化学气相沉积设备
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