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微机械传感器精度提升方法研究
目录
文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1.1微机械传感器在现代科技领域的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1.2精度提升对微机械传感器应用的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.2目标与研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
1.3文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.3.1微机械传感器精度提升的现有技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
1.3.2本研究的主要方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
微机械传感器原理与结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
2.1微机械传感器的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
2.2常见微机械传感器类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
2.2.1电容式传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
2.2.2电阻式传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.2.3压电式传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
2.2.4激光式传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.3微机械传感器的结构特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
2.3.1传感器结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
2.3.2传感器材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
2.4传感器制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
传感器精度提升方法研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
3.1传感器设计优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
3.1.1结构优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
3.1.2材料改进．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
3.1.3制造工艺优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
3.2信号处理技术改进．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
3.2.1信号放大技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
3.2.2信号滤波技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
3.2.3信号校正技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57
3.3环境因素影响分析与对策．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
3.3.1温度影响分析与对策．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
3.3.2振动影响分析与对策．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
3.3.3湿度影响分析与对策．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
实验验证与数据分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66
4.1实验设计与步骤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69
4.1.1传感器设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70
4.1.2实验装置搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75
4.1.3数据采集与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77
4.2实验结果与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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