MEMS技术下ZnO纳米结构加速度传感器的制作工艺与特性深度剖析.docxVIP

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2025-10-24 发布于上海
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MEMS技术下ZnO纳米结构加速度传感器的制作工艺与特性深度剖析.docx

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MEMS技术下ZnO纳米结构加速度传感器的制作工艺与特性深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，传感器作为获取信息的关键部件，在众多领域中发挥着举足轻重的作用。微机电系统（MEMS）技术作为一种前沿的微型化技术，自20世纪60年代概念提出以来，历经了从理论探索到实际应用的重大跨越。在过去的几十年间，MEMS技术取得了令人瞩目的进展，从最初的理论设想逐步发展成为一个多亿美元级的新兴产业，广泛应用于医疗、汽车、航空航天、消费电子等多个领域。

在MEMS技术的推动下，加速度传感器的发展也迎来了新的契机。加速度传感器作为一种能够测量物体加速度的重要传感器，其性