有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
ICS77.060CCSH25
中国腐蚀与防护学会团体标准
T/CSCP0059.2-2025
微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传
感器
第2部分：选材与评价
Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchipand
sensor—
Part2:Materialselectionandevaluation
2025-09-01发布
2025-10-01实施
中国腐蚀与防护学会发布
T/CSCP0059.2-2025
目次
前言 III
引言 IV
1范围 6
2规范性引用文件 6
3术语和定义 7
4选材原则 7
4.1功能性优先原则 7
4.2环境适应性原则 8
4.3全生命周期可靠性原则 8
4.4工艺可制造性原则 8
4.5经济性与可持续性原则 8
5.常用材料类型与性能要求 9
5.1敏感材料 9
5.2结构材料 9
5.3基板材料 10
5.4介质层材料 10
5.5互连材料 10
5.6封装材料 10
5.7芯片粘接材料 10
5.8外壳材料 10
5.9密封材料 11
6.评价方法 11
6.1通用要求 11
6.2化学成分分析 11
T/CSCP0059.2-2025
6.3力学性能评价 11
6.4微观组织评价 11
6.5电学性能评价 11
6.6耐腐蚀性能评价 11
6.7热性能评价 12
6.8工艺适应性评价 12
6.9环境可靠性试验 12
6.10长期稳定性评价 12
T/CSCP0059.2-2025
引言
《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》涵盖了微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片（以下简称MEMS材料腐蚀芯片）及传感器的设计、选材、测试及芯片电路、元器件选型设计方法。目前，该标准由五个部分构成：
——第1部分：通用要求。目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器通用要求，包括MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计要求、选材要求、制造要求及测试要求。
——第2部分：选材与评价。目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器各部分材料的选材与评价方法，包括选材原则、常用材料类型及其性能指标、评价与验证方法。
——第3部分：测试方法。目的是规定微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器测试方法，包括测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则。
——第4部分：元器件选型及测试。目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件选型及测试，包括元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
——第5部分：电路设计及测试。目的是规定微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的电路设计及测试方法，包括电路设计要求、性能要求及测试方法。
T/CSCP0059.2-2025
微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第2部分：选材与评价
1范围
本文件规定了微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem，以下简称MEMS）材料腐蚀芯片及传感器的选材的基本原则、常用材料类型及其性能要求，以及材料评价方法。
本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造与材料选型过程中的材料选择与性能评价，其他类型的材料腐蚀传感器也可参照使用。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T226钢的低倍组织及缺陷酸蚀检验法
GB/T228.1金属材料拉伸试验第1部分：室温试验方法
GB/T229金属材料夏比摆锤冲击试验方法
GB/T230.1金属材料洛氏硬度试验第1部分：试验方法
GB/T231.1金属材料布氏硬度试验第1部分：试验方法
GB/T232金属材料弯曲试验方法
GB/T3246.1变形铝及铝合金制品显微组织检验方法第1部分：显微组织检验
GB/T3246.2变形铝及铝合金制品显微组织检
文档评论（0）