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      获得均匀膜层的方法光学镀膜技术主讲人:王建敏
光学镀膜技术
目视法薄膜厚度的检测方法极值法光电定值法石英晶振法
在光学镀膜中,除了对薄膜厚度的监控,膜层的均匀性也至关重要。比如,相机镜头的镀膜如果不均匀,会影响成像质量,出现光斑、色差等。获得均匀膜层的方法
获得均匀膜层的方法
影响膜层厚度均匀性的因素
1.蒸发源发射特性影响膜层厚度均匀性的因素不同结构的蒸发源,像点源、面源、螺旋丝等,发射分布特性差异很大。理想点源、面源以及电子束蒸发源,它们沉积膜层厚度的计算公式不同。蒸发源结构的影响:
1.蒸发源发射特性影响膜层厚度均匀性的因素同一蒸发源蒸发不同膜料时,蒸发分布特性也不一样,在电子束蒸发时更
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