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薄膜机械性能的测量光学镀膜技术主讲人：颜劲仁
光学镀膜技术
薄膜与基底附着的牢固度影响薄膜正常使用的关键参数薄膜自身的硬度
薄膜机械性能的测量
薄膜的应力存在于薄膜断面上，由断面的一侧作用于另一侧单位面积上的力，通常情况下，薄膜的应力往往分布不均匀，使用断面上应力的平均值来表示薄膜的应力。薄膜机械性能的测量
薄膜应力产生的原因：1主要是在薄膜制备的过程中产生的，薄膜制备过程中构成薄膜的原子或分子在空温高真空的环境下沉积到基片表面，冷却后会存在不规则的微观结构，导致薄膜内存在内应力。薄膜机械性能的测量
32薄膜应力产生的原因：薄膜冷却的过程中，薄膜与基片热膨胀系数不一样，冷却后薄膜与基片间也会存
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