高真空与检漏实验数据及分析.pdfVIP

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:汉学号:P系别:05006

实验题目:高真空的获得和检漏

实验目的:本实验学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空,用静态升压法和

氦质谱法捡漏,并对比两种方法的特点。

实验内容:

1.测得第一次抽到极限时(表中1),经过加热放气后(表中2),以及继续抽气

到极限时(表中3)V1的压强,和继续抽气到极限时(表中3)V2的压强。

V1/PaV2/Pa

1

−3

5.0×10

2

−3

5.2×10

30.7

−3

3.6×10

2.真空检漏

测得放气时的压强为下表:

T/s051015202530354045505560

p/Pa0.00360.0180.020.0240.0320.0410.050.0580.0670.0760.0860.0950.12

做得图象如下

a

P

/

p

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