氧等离子体刻蚀构筑分级纳米材料及其SERS和气敏性能的多维探究.docx

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2025-10-21 发布于上海
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氧等离子体刻蚀构筑分级纳米材料及其SERS和气敏性能的多维探究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，纳米材料因其独特的物理和化学性质，在众多领域展现出巨大的应用潜力。纳米材料的性能不仅取决于其化学成分，还与材料的尺寸、形貌和结构密切相关。分级纳米结构由于具有多层次的结构特征，能够提供更大的比表面积、更多的活性位点以及独特的电子传输路径，在表面增强拉曼散射（SERS）和气敏等领域表现出优异的性能，成为当前纳米材料研究的热点之一。

在分级纳米材料的制备方法中，氧等离子体刻蚀技术凭借其独特的优势脱颖而出。等离子体是一种由离子、电子、自由基等多种活性粒子组成的物质状态，具有高能量和高