真空炉监控系统设计.docx

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第一章绪论

1.1真空炉简介

由于真空炉的炉腔内会有一部分物质导致内部没办法成为真空空间,所以会在选定的即为真空炉内利用由真空泵、控制真空的开关以及用来检测真空状态的器件组成的真空系统将其排出这一特定的空间之外,从而炉腔内的压强将小于一个标准大气压,从而使炉腔空间成为真空状的设备就是真空炉。加热系统、真空系统及有关控制设备等组成真空炉系统。加热系统由加热元件和加热电源组成,采用磁性调压器作为加热电源,利用直流激磁电源实现带负载的无触点的平滑无级调压,采用功率调控器来控制直流激磁电源,其中功率调控器使用温控仪通过热电偶检测出当前值与设定值的炉温的温度之差,再将这差值输入到

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