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X光显微CT在激光微加工中的应用与图像处理技术探索
一、绪论
1.1研究背景与意义
随着现代制造业的飞速发展,对微加工技术的精度和质量要求日益提高。激光微加工作为一种先进的微加工技术,凭借其非接触、高精度、高灵活性等优势,在微电子、生物医学、光学器件等众多领域得到了广泛应用。例如,在微电子制造中,激光微加工可用于制造高精度的微电子元件,实现高精度的图案化和微孔加工,提高元件的性能和可靠性;在生物医学领域,能够用于制造微流控芯片、生物传感器等,为生物医学研究和诊断提供新的工具。然而,激光微加工过程中,加工质量和效率的提升面临诸多挑战,如加工精度的进一步提高、热影响区的控制等。
X光显微CT
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