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碳纳米管互连线串扰问题的深度剖析与解决方案探究
一、引言
1.1研究背景与意义
在当今数字化时代,集成电路(IntegratedCircuit,IC)作为现代电子设备的核心,其性能的提升对于推动信息技术的发展至关重要。随着半导体工艺技术的不断进步,集成电路的特征尺寸持续缩小,器件的集成度呈指数级增长。从早期的小规模集成电路到如今的超大规模集成电路,芯片上能够容纳的晶体管数量越来越多,这使得电子设备在功能不断增强的同时,体积和功耗却不断降低。
在集成电路中,互连线扮演着连接各个芯片和器件的关键角色,其性能直接影响着整个电路的运行效率和可靠性。随着电子器件尺寸缩小至深亚微米甚至纳米尺度,互连线
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